電子無(wú)塵

電子無(wú)塵車間生產(chǎn)的產(chǎn)品都是很精細(xì)的東西，一個(gè)小的灰塵就會(huì)讓這個(gè)電子器件短路或者直接報(bào)廢的，所以電子廠跟半導(dǎo)體廠都是要求做電子無(wú)塵車間的，還需要恒溫恒濕的狀態(tài)。

電子行業(yè)對(duì)于電子無(wú)塵車間的要求:無(wú)塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無(wú)塵室，電子無(wú)塵工廠生產(chǎn)工藝有集成電路等分類眾多。由于電子無(wú)塵車間生產(chǎn)工藝種類繁多，對(duì)潔凈度等級(jí)要求也不同，高的很高，低的很低；對(duì)粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1-5um；對(duì)溫濕度控制的要求相對(duì)較高，如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃（精度±0.1至±1℃），相對(duì)濕度基數(shù)為40%（精度±2至±5℃）；正壓值要求的梯度級(jí)別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5-10Pa。

電子無(wú)塵車間的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的無(wú)塵車間大很多，單位冷負(fù)荷達(dá)400-500W/㎡很常見(jiàn)。由于冷負(fù)荷大，一般情況下，冬季也需要供冷，這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。

電子行業(yè)電子無(wú)塵廠房生產(chǎn)工藝過(guò)程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一，排放前要做處理，使排風(fēng)符合環(huán)保要求。

另外電子行業(yè)電子無(wú)塵廠房生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對(duì)純度和潔凈度要求也是很高的。