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半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)施工要求

來源:無錫一凈凈化設(shè)備有限公司作者:無錫一凈網(wǎng)址:http://www.3dmodelcenter.com瀏覽數(shù):2084 

凈化工程,無塵車間8.jpg

半導(dǎo)體特性決定其制造過程必須有潔凈度要求,環(huán)境中雜質(zhì)對半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用,所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中對什么都必須嚴(yán)格控制,雜質(zhì)各式各樣,如金屬離子會破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能,灰塵粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等。半導(dǎo)體、電子無塵潔凈廠房有其特殊施工要求,下面無錫一凈凈化設(shè)備有限公司就其特點(diǎn)作些經(jīng)驗(yàn)交流。

首先了解下半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境要求,其生產(chǎn)條件除了要求恒溫恒濕外,對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求很嚴(yán),按單位體積重規(guī)定的塵埃粒子數(shù)標(biāo)準(zhǔn)分成潔凈度的等級。一般分為:10級、100級、1000級、10000級、100000級,國際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1、國標(biāo)GB50073-2013、美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)中均有規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子**濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。

電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化,日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度級別和控制凈化車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量,目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定,各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及凈化車間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造凈化車間的空氣潔凈度級別等級(如下表格)。

凈化車間的空氣潔凈度級別等級.jpg

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