電子無(wú)塵車間GMP車間食品無(wú)菌車間食品醫(yī)藥包裝車間醫(yī)療器械車間無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室鋰電池車間簡(jiǎn)易房空調(diào)箱其他凈化工程項(xiàng)目潔凈棚凈化門窗凈化工程板材&鋁材凈化工程其他配件凈化工程客戶業(yè)績(jī)單人全不銹鋼風(fēng)淋室單人外鋼板內(nèi)不銹鋼風(fēng)淋室單人鋼板烤漆風(fēng)淋室雙人全不銹鋼風(fēng)淋室雙人外鋼板內(nèi)不銹鋼風(fēng)淋室雙人鋼板烤漆風(fēng)淋室自動(dòng)感應(yīng)移門風(fēng)淋室快速卷簾門貨淋室防碰撞快速卷簾門L型轉(zhuǎn)角風(fēng)淋室防爆風(fēng)淋室門禁卡風(fēng)淋室凈化車間多人風(fēng)淋通道不間斷通行風(fēng)淋室噴霧水淋室汽車涂裝風(fēng)淋室流水線貨淋室手動(dòng)雙開門貨淋室吹塵室風(fēng)淋室客戶業(yè)績(jī)表單人水平超凈工作臺(tái)單人垂直超凈工作臺(tái)雙人水平超凈工作臺(tái)雙人垂直超凈工作臺(tái)桌上型超凈工作臺(tái)光學(xué)(內(nèi)黑)超凈工作臺(tái)不銹鋼超凈工作臺(tái)除塵臺(tái)百級(jí)潔凈柜企業(yè)新聞常見(jiàn)問(wèn)題企業(yè)報(bào)道全部產(chǎn)品凈化工程/無(wú)塵室/潔凈車間風(fēng)淋室/貨淋室/貨淋通道超凈工作臺(tái)/潔凈工作臺(tái)潔凈傳遞窗風(fēng)幕機(jī)臭氧發(fā)生器百級(jí)層流罩潔凈采樣車/取樣車FFU產(chǎn)品不銹鋼水槽水槽周邊產(chǎn)品潔凈衣柜、鞋柜空氣凈化器有隔板高效過(guò)濾器無(wú)隔板高效過(guò)濾器邊液槽式高效過(guò)濾器低液槽式高效過(guò)濾器板式初效過(guò)濾器袋式初效過(guò)濾器過(guò)濾器一凈簡(jiǎn)介周董致辭一凈品牌一凈文化一凈榮譽(yù)一凈視頻生產(chǎn)能力服務(wù)全球招聘人才
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半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工要求

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凈化車間的空氣潔凈度級(jí)別等級(jí).jpg

這個(gè)表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過(guò)程的潔凈等級(jí)要求,要求一般的是光照制造,還有微環(huán)境,其他的一些大的區(qū)域,包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好,這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì),或者對(duì)生產(chǎn)的要求,潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境,不需要很高的潔凈度。還有濕度控制,濕度控制主要通過(guò)循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng),去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱,最終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過(guò)新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制,溫度的控制目的有兩個(gè),首先是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒(méi)有問(wèn)題,作為制程來(lái)說(shuō)我們關(guān)注的是波動(dòng)性??刂茲崈舴康臐穸戎饕康氖菨穸冗^(guò)低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過(guò)高,對(duì)產(chǎn)品的影響。第二點(diǎn)是正壓,通過(guò)潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓,靜壓層保持微正壓。

再來(lái)就是照度和噪聲,這個(gè)部分在新的標(biāo)準(zhǔn)里面有詳細(xì)的描述,這里不具體講了。因?yàn)楝F(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來(lái)越大,安裝起來(lái)一部分照明會(huì)被遮掩,噪聲的問(wèn)題比較難解決,主要在設(shè)備選型的時(shí)候注意。接下來(lái)是靜電控制的問(wèn)題(ESD),這個(gè)本身會(huì)造成產(chǎn)品的損害或者設(shè)備的損害,半導(dǎo)體有ESD的標(biāo)準(zhǔn)。

無(wú)錫一凈凈化設(shè)備有限公司在各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域工程建設(shè)的道路上繼續(xù)堅(jiān)持以科技為向?qū)?,以質(zhì)量為準(zhǔn)則,以客戶滿意為宗旨,嚴(yán)格遵守和落實(shí)ISO9001:2000標(biāo)準(zhǔn)、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》以及專業(yè)規(guī)范要求,全過(guò)程項(xiàng)目管控,以項(xiàng)目類型為定調(diào),定制化項(xiàng)目設(shè)計(jì)、實(shí)施的全產(chǎn)業(yè)化流程,解決客戶痛點(diǎn),憑借自身的技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)為客戶提供完備的環(huán)境控制工程整體系統(tǒng)集成解決方案的專業(yè)服務(wù)。


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